本實(shí)用新型涉及的是一種用于柔性薄膜太陽(yáng)能電池激光劃線的真空吸附裝置，特別是一種適用于銅銦鎵硒柔性薄膜電池激光劃刻的真空吸附裝置。

背景技術(shù)：

在薄膜太陽(yáng)能電池組件制作過(guò)程中，激光劃線貫穿整個(gè)制作工藝過(guò)程，是電池組件形成內(nèi)串聯(lián)所必不可少的一部分工序，而且對(duì)于電池成品的良品率及效率起到關(guān)鍵作用。

隨著激光技術(shù)的發(fā)展，與控制技術(shù)的結(jié)合應(yīng)用使得激光劃刻技術(shù)得到了快速的發(fā)展，激光劃刻有精度高，速度快等優(yōu)點(diǎn)。但之前激光劃刻的材料大多是在剛性材料上，在薄膜類(lèi)使用過(guò)程中，由于薄膜本身的卷曲褶皺，使得激光劃刻機(jī)無(wú)法有效對(duì)焦及劃刻，從而影響激光劃線的精度和效果。

在激光劃線的工藝過(guò)程中，真空吸附面板系統(tǒng)在激光劃線起到關(guān)鍵的作用，對(duì)于薄膜卷曲，劃刻聚焦，固定薄膜，薄膜膜面整平過(guò)程起到重要作用。目前激光劃刻的吸附系統(tǒng)多為單片片裝的吸附、即單吸附，為對(duì)兩邊卷曲情況無(wú)整平作用即在使用過(guò)程中只對(duì)中間平整區(qū)域有吸附作用，對(duì)兩邊卷曲部分無(wú)壓制整平功能；這種情況下只會(huì)對(duì)薄膜中間區(qū)域有吸附力，不能做到吸附及平整整個(gè)大的膜面，無(wú)法有效對(duì)焦劃刻。

采用德國(guó)薄膜制備工藝，形成了一套具有嚴(yán)格工藝標(biāo)準(zhǔn)的閉環(huán)式流程技術(shù)制備體系，能夠制備各種超高性能光學(xué)薄膜，包括紅外薄膜、增透膜，ARcoating, 激光薄膜、特種薄膜、紫外薄膜、x射線薄膜，應(yīng)用領(lǐng)域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、醫(yī)用激光器、紅外制導(dǎo)、面部識(shí)別、VR/AR應(yīng)用,博物館，低反射櫥窗玻璃，畫(huà)框等。